제품 소개
스핀 코팅용 유기재료로서 우수한 열안정성으로 기존 Amorphous carbon layer(ACL)를 대체하기 위한 반도체 하드마스크 재료
주요 용도
- 400℃의 고온 공정을 요구하는 반도체 하드마스크 재료
- 스핀 코팅 공정에 적용하여 증착 방식의 ACL을 대체하는 재료
주요 특징
- 우수한 열 안정성
- 높은 Carbon 함량
- 단차 완화 효과
- 우수한 코팅 균일도
- 우수한 용해도
- 코팅 방식 적용에 따른 생산성 향상
- 증착 설비 투자 비용 절감 효과